Chipfertigung: 10 Jahre EtherCAT inside

Bei dem initialen Treffen im Jahr 2011 waren knapp 100 Branchenexperten anwesend, um die ETG bei dem Vorhaben zu unterstützen, Geräteprofile und Implementierungsrichtlinien für die speziellen Anforderungen der Halbleiterfertigungsindustrie zu entwickeln. Martin Rostan, Executive Director der ETG, erkannte schon damals: „Der neue Feldbusstandard für die Halbleiterindustrie ist EtherCAT– anders kann man die eindeutigen Statements der Marktführer und die aktive Unterstützung der Branche nicht deuten.“

Zehn Jahre später hat die TWG Semi nun bereits 16 Dokumente mit Geräteprofilen für die Halbleiterfertigungsindustrie (SDPs = Specific Device Profiles) sowie vier zugehörige Basisdokumente erarbeitet. Weitere neun Profile befinden sich in der Abstimmung und stehen zum Teil kurz vor der Fertigstellung. Hochgerechnet wurden seit 2011 alleine bei den halbjährlich stattfindenden Treffen der Arbeitsgruppe mehr als 22000 Arbeitsstunden in die Entwicklung der Profile investiert.

Der Aufwand hat sich gelohnt und Rostans Einschätzung wurde bis heute vielfach bestätigt. EtherCAT ist das Protokoll der Wahl für die Halbleiterindustrie und kommt in unzähligen Tools, wie die Maschinen zur Halbleiterfertigung genannt werden, zum Einsatz. Als Hauptgrund für diesen Erfolg sieht Florian Essler, der von Seiten des ETG-Teams die TWG Semi begleitet, die breite Unterstützung für die  entwickelten Standards: “Basierend auf der stringenten Arbeitskultur der TWG Semi sind in den vergangenen zehn Jahren Profile mit enormer Akzeptanz im Markt entstanden. Dies spiegelt nicht zuletzt die Entwicklung der Teilnehmerzahlen bei den Meetings wider, welche zeigt, dass unsere Geräteprofile in der Branche als besonderer Wert eingeordnet werden.”

Neben der Arbeit an den Geräteprofilen finden stets auch neue Themen Einzug in die Arbeit der TWG Semi. So beschäftigt man sich mittlerweile beispielsweise mit Safety-over-EtherCAT und dessen Relevanz im Bereich funktionaler Sicherheit für Halbleiterfertigungsmaschinen sowie die dazugehörigen Geräte. Zudem spielt  auch die Einbindung des EtherCAT Conformance Test Tools (CTT) in die automatisierte Abnahme von Geräten eine Rolle. Florian Essler ist sich sicher, mit dem 20. Meeting der TWG Semi den Start für die nächsten zehn Jahre längst “aktiv angepackt” zu haben und freut sich auf künftige Ideen, welche zusätzlich zum gewohnten Tagesgeschäft der Arbeitsgruppe entwickelt und ausgearbeitet werden.