
In der Halbleiterindustrie spielen Liquid-Flow-Prozesse, in denen eine Vielzahl verschiedener abrasiver, anhaftender und korrosiver Flüssigkeiten zum Einsatz kommen, eine bedeutende Rolle. Deren permanentes Monitoring sichert im Sinne eines kontinuierlichen Qualitätsmanagements die Prozessstabilität und Verfahrenssicherheit. Die berührungslos messenden SEMIFLOW Flow Meter sind auf Grundlage der spezifischen Bedürfnisse der Halbleiterindustrie entwickelt und […]